1. 设备检查:确保所有设备完好无损,特别是真空泵、靶材和电源控制系统。
2. 工作环境:保持工作区域整洁,避免有易燃、易爆物品。
3. 个人防护:佩戴适当的防护装备,如防尘口罩、护目镜和防护手套。
4. 操作流程:遵循预设的操作步骤,包括抽真空、沉积、冷却及关闭设备等环节。
5. 应急处理:了解并熟悉紧急停止按钮的位置和使用方法,以及应急预案。
本规程旨在保证真空镀膜操作的安全进行,减少设备损坏和人身伤害的风险,提升生产效率,维护良好的工作环境,同时也为员工提供清晰的工作指导,确保工艺质量的稳定。
1. 在开机前,确认设备内部无异物,以免在抽真空过程中引起事故。
2. 操作过程中,严禁擅自离开岗位,以防意外发生。
3. 真空室内压力未达到工作要求前,不得开启靶材电源,防止电弧放电。
4. 镀膜过程中,如发现异常情况,应立即按下紧急停止按钮,并及时上报。
5. 定期检查防护装备,确保其有效性,破损时及时更换。
6. 遵守废弃物管理规定,将镀膜产生的废弃物妥善处理,避免环境污染。
7. 在设备运行时,禁止打开观察窗,以免受到辐射或高温伤害。
8. 关机后,待设备完全冷却再进行清洁和维护,以防烫伤。
9. 不得在未受过培训的情况下操作设备,确保每位员工都了解并能执行安全操作规程。
10. 遵循交接班制度,清楚交接设备状态和注意事项,确保工作的连续性和安全性。
通过遵守上述规程,我们能确保真空镀膜作业的高效和安全,实现持续改进,保障企业生产和员工健康。每一位员工都是安全生产的关键,让我们共同努力,营造一个安全、有序的工作环境。
1、员工着穿整洁,袖口扣紧(佩戴袖套),上衣下摆不能敞开,不得穿拖鞋、高跟鞋。
2、检查电路各控制开关能否正常断开闭合,电压指示380±20v。
3、检查各螺钉处连接是否牢固,电控柜、主机的连接线有无松脱现象、接地是否良好;所有电器的开关置在零或者“关”的 位置上。
4、检查镀膜机室内不锈钢挡板的插销是否牢固,角部有无弯曲翘曲等变形情况。
5、检查水压、气压是否正常;水、油、气是否有漏滴现象。
6、设备中途停水时,应立即关闭扩散泵、粗抽泵、罗茨泵,让维持泵继续运行。
7、设备中途停气时,应立即关闭扩散泵、粗抽泵、罗茨泵,让维持泵继续运行。
8、设备中途停电时,应立即关总电源,后关扩散泵、粗抽泵、维持泵。
9、扩散泵加热时,避免人身体接触扩散泵加热炉、以免烫伤。
10、工件旋转时,禁止一切作业;应待工件完全停止转动后,才可进行上下滚筒作业。
11、镀膜作业完成后,需要打开门时,应有作业人员扶住拉手,缓慢的将门打开,并将插销插入固定孔中。
12、操作人员必须严格按设备操作指导书和安全操作规程进行作业,注意设备本身及设备运行中的安全,特别要重视安全装置的检查与使用。
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