单晶硅拉制工安全操作规程

有哪些

单晶硅拉制工安全操作规程

单晶硅拉制是半导体制造中的关键步骤，涉及高温、精细工艺和复杂设备操作。为了确保生产过程的安全和高效，以下是单晶硅拉制工需遵守的操作规程：

1. 穿戴防护装备：工作前，员工应穿戴好防护眼镜、防尘口罩、防护服、绝缘手套和安全鞋，防止硅尘、热辐射和电气伤害。

2. 设备检查：开始工作前，必须检查设备运行状态，包括熔炉、拉晶机、冷却系统和电源，确保无异常。

3. 操作培训：所有员工需接受专业培训，掌握拉晶工艺和设备操作，未经许可不得擅自操作。

4. 清洁工作区：保持工作区域整洁，避免硅尘积聚，减少潜在的火灾和爆炸风险。

5. 严格按照程序操作：遵循既定的拉晶工艺流程，不得随意更改参数，确保产品质量。

6. 应急准备：熟悉应急预案，如遇紧急情况，立即启动相应措施，并及时上报。

目的和意义

单晶硅拉制工安全操作规程旨在保障员工的生命安全，防止生产事故的发生，同时保证产品的质量和生产效率。通过规范操作，可以降低设备故障率，减少硅材料浪费，维护良好的生产环境，提升企业的整体运营效益。

注意事项

1. 在加热过程中，严禁直接接触高温硅棒，以防烫伤。

2. 拉晶过程中，注意观察熔硅液面，避免溢出造成火灾。

3. 使用电动工具时，确保接地良好，预防电击事故。

4. 遇到设备异常，切勿自行维修，应立即停机并通知专业人员处理。

5. 工作结束后，关闭电源，清理工作区域，确保下一次操作的顺利进行。

6. 定期进行安全演练，提高员工应对突发情况的能力。

遵循以上规程，单晶硅拉制工能够确保自身安全，同时保证生产活动的有序进行，为企业的稳定发展贡献力量。

单晶硅拉制工安全操作规程范文

1.检查好晶轴、坩祸轴的旋转、升降是否灵活均匀。如果过紧时调节炉膛上的密封圈,紧固到不漏气为准。若拧时不漏气但旋转升降不灵活均匀,则要更换密封圈。

2.真空泵运转的方向应按规定的方向旋转,否则可能引起机械泵油倒灌到扩散泵中去。若真空泵电动机电源线有松掉或断落现象时,应将真空泵和扩散泵连接的塑料管拉掉,调整电动机旋转方向。

3.使用扩散泵必须避免油的氧化。

4.封炉时须检查炉门橡皮是否有油污物,是否能起密封作用,同时检查炉膛内有没有多余物件。

5.增温前要开冷却水,并检查水是否畅流,以防烧坏设备。

6.运动部件如导轨、丝杠等经常要擦洗、润滑。籽晶轴和坩锅要经常用纱布酒精或甲苯擦干净。采用水冷却要防止漏水生锈。

7.炉膛内要保持光亮清洁。,工作之后应及时清除氧化物,炉膛应常关闭。炉子不工作时,必须保持真空度,以使石墨件不受潮湿且能延长扩散泵使用寿命。

8.密封圈和橡皮垫,切忌用油和酒精之类擦拭,也不得压得过紧。

9.先开主机箱风扇电动机使风扇转动,风向向上,说明相序正确。再打开“增热”按钮。若发现相序不对,风扇不转,应立即停止增热排除故障。

10.首先将细调调至中间位置进行主回路送电。打开操纵台上的总电源开关,操纵台上各个开关与相应的部分应正常工作。总励磁有指示才能开直流电动机(籽晶、坩埚、轴)。

11.主机箱中因有鼓风机振动,每隔一段时间应打开箱子检查各螺钉是否有松动现象,如有松动应立即拧紧。

12.操纵台的边线有其相位关系,操纵台与回路之间也有同位关系,一经调好之后,就不要再动。检查修理时若要拆线必须做好标志,以免搞错。

13.用化学方法腐蚀已清洗完毕的多晶硅(回炉多晶)后,要每块仔细地检查有无氧化物,若有蚀渣氧化物须重新腐蚀。

14.装料时必须检查石英坩埚有无裂纹,有无白点和气泡,装料要装稳。

15.籽晶必须装牢,也不得装歪(偏离轴心线不大于3℃)。

16.装炉时必须检查炉内石墨件有无裂纹、氧化层和短路现象,增热器和电极是否接触良好。同时热部件要装得正,炉子漏气时不准熔硅。

17.掺杂时一定要把籽晶提高,置于掺杂勺上方。

18.拉晶中途出了事故被迫停炉时,应把石墨托升到最高位置。

19.不同厂、不同炉次多晶柱制高阻单晶时,每炉多晶柱应分开使用,以利拉制高低阻单晶。

20.真空复合计的指示必须大于0.133帕(0.001毫米汞柱)以上才能开硅管增热器进行测量,真空度要大于0.0133帕(0.0001毫米汞柱)才能进行除气,除气不能超过5分钟。

21.用自来水冷却时先打开7号水龙头(注:水龙头编号系根据设备具体情况确定),再打开4号水龙头,最后开房内的总龙头(在开自来水之前要把调压开关关紧。6号水龙头也要关好),即可使用。

22.用水泵时需看7号水龙头的流量,流量过大将调压开关开大,过小将调压开关关小,否则压力过大会损坏设备。

23.若水槽水温升高而自来水压力不够则按以下程序操作:

(1)将5号水龙头打开,

(2)将7号水龙头打开,炉内热水从地流出。

24.若发现外压升高,应将房内总水龙头关掉,然后关水泵。当炉子处在增热状态时应按第22条使用。

25.装好炉以后用电表测量电极与坩锅轴是否短路,若有短路应立即排除。

——摘自《机械工人安全技术操作规程》